在半导体检测领域,灯箱搭配光纤的照明方式具有高均匀、高亮度的特点,这种方式易于得到清晰准确的检测图像,从而被行业广泛应用。
此类设备的视觉检测部分,硬件由相机、镜头、光源组合而成。其中镜头最复杂,往往由一套模组搭配而成,镜头的倍数大,精度非常高,且可能搭配棱镜转向装置,结构复杂。经过一系列组合,其结构往往存在通光性差的缺点,常规光源亮度难以满足检测要求。
为了满足检测精度、速度的要求,需要搭配亮度极高的光源。早期常用卤素灯照明,卤素灯亮度较高,光谱较全且连续,具有一定的优势。但卤素灯同样存在寿命短、能耗高、发热量大等缺点,维护成本很高,已不能满足不断变化的市场与现代节能环保的要求。
乐视科技新款LED光纤光源可替代传统卤素光源,LED光纤光源寿命长(可达6万小时),亮度可达2000万Lx,环保(符合RoHS标准),均匀性好(无光晕,无亮斑及暗区);是一款品质精良的光纤光源,使用寿命为进口卤素灯光源的20倍以上,功耗仅为卤素光源1/10,可大幅降低了产品的维护成本。
半导体产品检测要求各有不同,针对不同产品与检测特征,经常需要替换不同波段光源,或者配多种滤镜组合使用,过滤掉不需要的特征。然而这种方式过于繁琐,且更换时容易触碰到机构其它部位影响精度。
为满足多波段检测要求,我司以单色光纤光源为基础,开发出可多色切换的光纤光源,即我司的三色光纤光源。只需一台即可实现三色RGB发光,三色可独立发光或混合发光,也可自由控制变化各种波段颜色,实现多光谱检测。可有效的简化光源部分结构,节省机构空间。
以下为我司三色光纤光源使用案例:
案例1:晶圆孔洞毛刺检测
晶片加工后,表面可能会存在毛刺与残渣在表面影响后续工艺。检测此类较小的孔洞,需配合高倍镜头才能看到细小的毛刺,再经过棱镜模组镜头后通光会减弱很多,使用高亮光纤光源配合照射,亮度满足,毛刺对比明显。
案例2:晶圆或玻璃电路检测
此类检测产品特征非常小,需要镜头放大倍数小视野成像。通常对光源的亮度要求特别高,而传统点光源亮度不够,使用LED光纤光源亮度满足,光斑均匀。
案例3:LED发光芯片线路检测
因产品背景有各种色彩,采用单色光源不能满足产品多样性检测;采用三色光纤光源,可根据产品的变化调整不同波段颜色的光照射。
光纤光源在半导体行业应用广泛,其亮度高,寿命长,功耗低,大幅降低了产品的维护成本。三色光纤光源可实现一个光源应用多种产品,提升产品检测的兼容性,简化视觉的硬件部分。我司光纤光源品类齐全,涵盖365~1550nm波长范围,欢迎广大客户咨询试样。
乐视科技自2011年成立以来,一直专注于机器视觉光源的研发与制造,现已成为中国产品种类齐全、品质优秀、性价比高的机器视觉光源制造商。我们一直恪守“工匠精神”的经营理念,数十年如一日地专注于机器视觉光源研发,不断提高产品的生产效率,为客户提供有价值的产品。